簡易檢索 / 檢索結果

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    單晶碳化矽晶圓之鑽石線鋸加工模式分析研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生： 黃浩維   指導教授： 陳炤彰
    • 單晶碳化矽因材料特性上擁有多項優點，於功率元件市場中備受重視，然而其高硬度及耐化學性質造成基板製造之困難，本研究分別從磨料移除材料和線網運動觀點分析複線式鑽石線鋸加工製程(Multi-wire di…
    • 點閱：332  下載：26 

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    單晶碳化矽基板之鑽石研光與化學機械拋光 平坦化製程研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生： 陳鼎鈞   指導教授： 陳炤彰
    • 單晶碳化矽基板(Silicon Carbide, SiC)在功率元件市場的潛力極大，但單晶碳化矽基板因高硬度及抗化學性等特質，造成製造過程面臨加工時間冗長等問題。本研究主要研究4H單晶碳化矽基板的研…
    • 點閱：472  下載：28 
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